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利用可能な加工、計測、分析、及び、評価装置のリスト

施設:   装置種別:  


超伝導アナログ・デジタルデバイス開発施設(CRAVITY)

装置名
i線ステッパ
コーターデベロッパー
セミオートディベロッパー
ウェハー洗浄装置
有機洗浄装置A
有機洗浄装置B
Nb-Alジョセフソン接合作製装置[In-situ分析器&オゾン酸化器付]
Nb-Alジョセフソン接合作製装置[標準型]
NbNジョセフソン素子作製装置
マルチターゲット(六源)スパッタ装置
絶縁膜作製装置
TEOS-CVD
反応性イオンエッチング装置Samco-I
反応性イオンエッチング装置Samco-II
反応性イオンエッチング装置Samco-III
反応性イオンエッチング装置(Ulvac)
ICP型反応性イオンエッチング装置
アッシング装置
イオンミリング装置
高温熱処理装置(RTA)
オートプローバ
マニュアルプローバ
シート抵抗測定装置
ナノサーチ顕微鏡
レーザー顕微鏡
段差計
化学的機械研磨装置1(CMP1)
化学的機械研磨装置2(CMP2)
ダイシングソー

先端ナノ計測施設(ANCF)

装置名
陽電子欠陥評価装置
超伝導蛍光X線検出器付走査型電子顕微鏡(SC-SEM)
超伝導蛍光収量X線吸収微細構造分析装置(SC-XAFS)
表面プローブ顕微鏡群1(RSPM)
表面プローブ顕微鏡群2
ナノ秒可視・近赤外蛍光寿命計測装置
ナノ秒可視・近赤外過渡吸収分光装置
ピコ秒可視蛍光寿命計測装置
ピコ秒可視・近赤外過渡吸収分光装置
固体NMR装置(600MHz)
固体NMR装置(200MHz)
固体NMR装置(20MHz)
極端紫外光光電子分光装置(EUPS)

蓄電池基盤プラットフォーム(BRP)

装置名
X線CTスキャナー
レーザーラマン顕微鏡
カルベ式熱量計
熱分析装置

スーパークリーンルーム(SCR)

装置名
ヘリウムイオン顕微鏡(HIM)

電子顕微鏡施設(TEM/SEM)(内部利用限定)

装置名
Tecnai Osiris(つくば中央第5事業所)
Tecnai F20 (つくば中央第4事業所)
LEO EM-922 (つくば中央第5事業所)
H-7600 (つくば中央第6事業所)
CM200UT (つくば中央第6事業所)
EM-002B (つくば西事業所)
JEM-2010 (中部センター)
H-9000NAR (関西センター)
S-5000 (関西センター)
Tecnai G2 F20 (関西センター)
JSM-7400 (つくば東事業所)

脳機能計測評価施設(BIT)(内部利用限定)

装置名
磁気共鳴画像装置(MRI装置)

高分解能NMR施設(HRNMR)(内部利用限定)

装置名
NMR分光装置(Avance III-500)


課金係数についてのお知らせ

平成25年度のご利用につきましては、ユーザーのご所属により、課金額に下記の係数がかけられます。
・中小企業(中小企業支援法第2条) 0.5
・「連携千社の会」の法人は、H24年4月1日以降の法人の最初の利用についてのみ 0
・その他 1

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